磁控多弧復(fù)合鍍膜機-青島鍍膜機-至成鍍膜機量身訂制

真空鍍膜設(shè)備選購要點分析
真空鍍膜設(shè)備選購要點分析如下：
1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。
2、根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備，其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、空心陰*離子鍍、多弧離子鍍等。
3、夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn) 自轉(zhuǎn)方式，用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求，轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。
4、真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。
5、根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源（ф60，ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等），真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其的測量規(guī)管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。
6、充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 針閥及相應(yīng)的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。
7、根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測量。
8、根據(jù)設(shè)備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。
9、完善的報警系統(tǒng)，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。
真空鍍膜機的全新發(fā)展真空泵與隔膜泵機械密封的安裝與使用
真空鍍膜機的發(fā)展相當(dāng)迅速，隨著生產(chǎn)率的提高，生產(chǎn)費用大大降低，已經(jīng)為真空鍍膜產(chǎn)品的普遍使用鋪平了道路。
以卷繞式真空鍍膜機為例，剛開發(fā)時可鍍的薄膜基材寬度是150mm，目前已達2253mm。基材卷筒的大卷徑是1000mm，大卷繞速度750m/min。自動裝卸的半連續(xù)卷繞式真空鍍膜機鍍膜時間占整個周期的75%，輔助操作時間只占25%。隨著計測技術(shù)、控制技術(shù)的進步和電子計算機的應(yīng)用，卷繞式真空鍍膜機正向著高度自動化和高度可靠性的方向發(fā)展。
真空鍍膜機真空鍍膜機能夠沉積的鍍膜層厚度范圍為0.01-0.2，可以在這個范圍內(nèi)選擇，有的還可以鍍多層膜，滿足多種需要。日本提出沉積兩種不同鍍膜材料的卷繞式蒸鍍裝置。該裝置的真空室分為上室，左下室和右下室。蒸鍍時，兩組蒸發(fā)源蒸發(fā)的鍍膜材料分別沉積在塑料薄膜上，在塑料薄膜沒有蒸鍍的一側(cè)，裝上輝光放電發(fā)生器。發(fā)生器產(chǎn)生的輝光放電氣體能防止塑料薄膜起皺。使用這套裝置可以在*薄的塑料薄膜上鍍上無折皺的多層膜，用于制磁帶和薄膜太陽能電池等。
真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三*型濺射離子泵，(或二*型非對稱陰*濺射離子泵)對ar有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2bv系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmhg~25mmhg(絕壓)，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線)，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmhg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的*限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度，選用的真空泵的*限真空度至少要2mmhg，能達到1mmhg較好。通常選擇泵的*限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。