東莞愛德華真空泵-愛德華售后-愛德華真空泵維修RV8
化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (cvd) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的*，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 cvd 制程，愛德華真空泵維修rv3，需要在溫度設上 達到平衡，惠州愛德華真空泵，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
適用于研發實驗室的實驗室真空系統我們提供豐富多樣的真空產品， 以應對當今研發實驗室所面臨的種種挑戰。 通過與各主要科學儀器制造商、大學院校和主要研究機構的 通力合作，我們能夠深入了解研究過程以及真空技術 所發揮的作用。我們專注于真空領域的技術進展，并 投資于研發，因此能夠開發滿足您的特定應用 要求的產品。 單一供應商：
廣泛的產品組合齊聚一堂基于技術的解決方案：
從 uhv（超高真空）到大氣壓安心：
經驗豐富，可幫助您選擇解決方案
概述
eh 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠。
應用
半導體制程、真空蒸餾、真*裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、co2 激光
功能和優勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。
eh 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術，處理艙中不會出現油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，愛德華真空泵維修eh500，因此可將維護要求降到低。
軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。
訂購信息
edwa*真空泵 eh4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機械增壓泵
eh4200 industrial
●eh4200ind 380-415 v， 3-ph， 50 hz， 11 kw a30975946
●eh4200ind 200 v， 3-ph， 50 hz，愛德華真空泵維修rv8， 11 kw nrc215000
●eh4200ind 208-230 v or 460 v， 3-ph， 60 hz， 15 hp a30976982
●eh4200ind 200 v， 3-ph， 60 hz， 15 hp nrb988000
eh4200 pfpe*
●eh4200fx 220-240 v or 380-415 v， 3-ph， 50 hz， 11 kw on application
●eh4200fx 208-230 v or 460 v， 3-ph， 60 hz， 15 hp on application
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●eh4200c 230 v or 460 v， 3-ph， 60 hz， 15 hp a30956982
●eh4200t3 380-415 v， 3-ph， 50 hz， 11 kw a30941935
●eh4200t160 380-415 v， 3-ph， 50 hz， 11 kw a30979900
東莞愛德華真空泵-愛德華售后-愛德華真空泵維修rv8由惠州市明勝機電設備有限公司提供。惠州市明勝機電設備有限公司是廣東 惠州 ,真空泵的見證者，多年來，公司貫徹執行科學管理、*發展、誠實守信的方針，滿足客戶需求。在明勝機電*攜全體員工熱情歡迎各界人士垂詢洽談，共創明勝機電更加美好的未來。
